대구한의대학교 향산도서관

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BCl₃기반의 혼합가스들을 이용한 InP 고밀도 유도결합 플라즈마 식각: / 조관식 임완태 백인규 이제원 전민현 / 한국재료학회 / 한국 재료 학회지 / 2003 /