대구한의대학교 향산도서관

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BCl₃/H₂/Ar 유도결합 플라즈마를 이용한 GaN의 건식 식각에 관한 연구 / 김성대 정석용 이병택 / 한국재료학회 / 한국 재료 학회지 / 2000 /