대구한의대학교 향산도서관

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반도체 장비용 Al2O3 코팅 진공부품의 내부식성 평가 연구: / 유승민 윤주영 강상우 신재수 성대진 신용현 / 한국진공학회 / 韓國眞空學會誌 / 2008 /