대구한의대학교 향산도서관

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Ar/CF₄/CI₂플리즈마에 의한 CeO₂ 박막의 식각 특성 연구 / 장윤성 김동표 김창일 / 한국전기전자재료학회 / 전기 전자 재료 학회 논문지 / 2002 /