대구한의대학교 향산도서관

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RF 마그네트론 스퍼터링법에 의해 합성된 AIN 박막의 공정조건에 따른 우선 배향성 및 평탄성 관한 연구: / 이민건 장동훈 강성준 윤영섭 / 한국전기전자재료학회 / 전기 전자 재료 학회 논문지 / 2004 /