대구한의대학교 향산도서관

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SiH4와 SiH2Cl2가스에 의해 형성된 텅스텐 폴리사이드 전극이 게이트 산화막의 특성에 미치는 영향 / 서용진 김상용 장의구 / 한국전기전자재료학회 / 전기 전자 재료 학회 논문지 / 1999 /