대구한의대학교 향산도서관

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APM세정에 따른 표면 Microroughness 및 Si/SiO2계의 전기적 특성에 관한 연구 / 정양희 김명규 / 한국전기전자재료학회 / 전기 전자 재료 학회 논문지 / 1999 /