대구한의대학교 향산도서관

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원격 SF6플라즈마 방전을 이용한 GaAs 표면의 불화막 형성 및 그 MIS 특성 / 김광호 / 한국전기전자재료학회 / 전기 전자 재료 학회 논문지 / 1999 /