대구한의대학교 향산도서관

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Cu와 Si 사이에서 확산 방지막으로 사용하기 위한 TiN/Zr(N)/TiN 다층 박막의 연구 / 김창조 조병철 / 한국전기전자재료학회 / 전기 전자 재료 학회 논문지 / 1999 /