대구한의대학교 향산도서관

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AL(Cu 1%)플라즈마 식각후 fluorine 처리에 의한 Passivation 막 형성 / 김창일 권광호 김상기 백규하 윤용선 남기수 장의구 / 대한전자공학회 / 전자공학회논문지 - D / 1998 /