대구한의대학교 향산도서관

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플라즈마 식각 모델링 및 3차원 토포그래피 시뮬레이터 개발 / 권오섭 이제희 윤상호 심용찬 김인태 원태영 / 대한전자공학회 / 전자공학회논문지 - D / 1998 /