대구한의대학교 향산도서관

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다층 RIE Electrode를 이용한 아크릴의 O2/N2 플라즈마 건식 식각: / 김재권 김주형 박연현 주영우 백인규 조관식 송한적 이제원 / 한국재료학회 / 한국 재료 학회지 / 2007 /