대구한의대학교 향산도서관

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ECR-PECVD 방법으로 제작된 DLC 박막의 기반 Bias 전압 효과: / 손영호 정우철 정재인 박노길 김인수 김기홍 배인호 / 한국진공학회 / 韓國眞空學會誌 / 2000 /