대구한의대학교 향산도서관

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반응성 스퍼터링으로 제작된 SixOy-SixNy 적층구조의 반사방지 코팅 응용: / 김창조 이봉주 신백균 / 한국진공학회 / 韓國眞空學會誌 / 2010 /