대구한의대학교 향산도서관

바구니

검색간략리스트

1.
저널기사
슬러리와 패드변화에 따른 텅스텐 플러그 CMP 공정의 최적화 / 김상용 서용진 이우선 / 한국전기전자재료학회 / 전기 전자 재료 학회 논문지 / 2000 /