대구한의대학교 향산도서관

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유도결합 플라즈마에 의해 식각된 PZT 박막의 식각 Damage 개선 / 강명구 김경태 김창일 / 한국전기전자재료학회 / 전기 전자 재료 학회 논문지 / 2001 /