대구한의대학교 향산도서관

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유도결합 프라즈마를 이용한 PST 박막의 식각 특성: / 김관하 김경태 김동표 김창일 / 한국전기전자재료학회 / 전기 전자 재료 학회 논문지 / 2003 /