대구한의대학교 향산도서관

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플라즈마 에칭으로 손상된 4H-실리콘 카바이드 기판위에 제작된 MOS 커패시터의 전기적 특성: / 조남규 구상모 우용득 이상권 / 한국전기전자재료학회 / 전기 전자 재료 학회 논문지 / 2004 /