대구한의대학교 향산도서관

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CMP 결과에 영향을 미치는 마찰 특성에 관한 연구: / 박범영 이현섭 김형재 서현덕 김구연 정해도 / 한국전기전자재료학회 / 전기 전자 재료 학회 논문지 / 2004 /