대구한의대학교 향산도서관

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혼합 산화제를 사용한 텅스텐 막의 전기화학적 부식 및 CMP 특성 : / 나은영 서용진이우선 / 한국전기전자재료학회 / 전기 전자 재료 학회 논문지 / 2005 /