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미세가공 정전용량형 초음파 탐촉자 개발(ll) - 미세공정기술 분석: / 김기복 안봉영 박해원 김영주 김국진 이승석 / 한국비파괴검사학회 / 비파괴 검사 학회지 / 2004 /