대구한의대학교 향산도서관

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회전박막제조기의 진동 및 입자발생이 박막제조에 미치는 영향에 관한 연구 / 허진욱 권태종 정진태 / 한국소음진동공학회 / 한국 소음 진동 공학회 논문집 / 2001 /