대구한의대학교 향산도서관

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RF 마그네트론 스퍼터링 방법으로 제작한 ge-rich 실리콘 산화 박막(GRSO)의 2단계 급속열처리(RTA)후의 광학적 특성 연구: / 홍종성 / 삼척대학교 산업과학기술연구소 / 산업과학기술연구원 논문집(삼척대) / 2002 /