대구한의대학교 향산도서관

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WSi₂word-line 및 bit-line용 spacer-Sin3N4 박막의 증착: / 안승준 김대욱 김종해 안성준 김영정 김호섭 / 한국재료학회 / 한국 재료 학회지 / 2004 /