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실리콘-게르마늄 바이시모스 공정에서의 실리콘-게르마늄 이종접합 바이폴라 트랜지스터 열화 현상: / 김상훈 이승윤 박찬우 강진영 / 한국진공학회 / 韓國眞空學會誌 / 2005 /