대구한의대학교 향산도서관

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EPS 활용 UV 나노임프린트 공정에서의 웨이퍼 미소변형의 영향 : / 심영석 정준호 손현기 이응숙 방영매 이상찬 / 한국진공학회 / 韓國眞空學會誌 / 2005 /