대구한의대학교 향산도서관

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RF 용량결합 플라즈마 발생장치에서 입자오염이 플라즈마 물성에 미치는 영향: / 연충규 양일동 황기웅 / 한국진공학회 / 韓國眞空學會誌 / 1994 /