대구한의대학교 향산도서관

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텡스텐 슬러리를 사용한 Cu-CMP 특성에서 산화제 첨가의 영향: / 이우선 최권우 이영식 최연옥 오용택 서용진 / 한국전기전자재료학회 / 전기 전자 재료 학회 논문지 / 2004 /