대구한의대학교 향산도서관

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MMIC에 적용되는 MIM 커패시터의 실리콘 질화막 증착과 전기적 특성: / 성호근 소순진 박춘배 / 한국전기전자재료학회 / 전기 전자 재료 학회 논문지 / 2004 /