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Ruthenium CMP에서 Cerium Ammonium Nitrate와 알루미나 연마 입자가 연마 거동에 미치는 영향: / 이상호 이승호 강영재 김인권 박진구 / 한국전기전자재료학회 / 전기 전자 재료 학회 논문지 / 2005 /