대구한의대학교 향산도서관

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RF-PECVD를 이용한 순수메탄 플라즈마에서 성장된 탄소계 박막의 제작 및 특성 / 조경제 류정탁 백양규 / 한국물리학회 / 새 물리 / 2002 /