대구한의대학교 향산도서관

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ECR plasma로 전처리된 Cu seed층 위에 전해도금 된 Cu 막에 대한 Annealing의 효과: / 이한승 권덕렬 박현아 이종무 / 한국재료학회 / 한국 재료 학회지 / 2003 /