대구한의대학교 향산도서관

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(hfac) Cu(vtmos)의 액체분사법에 의한 TiN 기판상 구리박막의 유기금속 화학증착 특성 / 전치훈 김윤태 김대룡 / 한국재료학회 / 한국 재료 학회지 / 1999 /