대구한의대학교 향산도서관

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유기금속 화학증착법에 의해 Sputtered-Ru/polysilicon 위에 증착된 Pt 전극의 특성 / 최은석 양정환 윤순길 / 한국재료학회 / 한국 재료 학회지 / 1999 /