대구한의대학교 향산도서관

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CH4 농도 변화가 저유전 SiOC(-H) 박막의 유전특성에 미치는 효과: / 신동희 김종훈 임대순 김찬배 / 한국재료학회 / 한국 재료 학회지 / 2009 /