대구한의대학교 향산도서관

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RF 스퍼터를 이용하여 제작된 a-Si:H 박막의 어닐링 효과에 관한 연구: / 김도윤 김인수 최세영 / 한국재료학회 / 한국 재료 학회지 / 2009 /