대구한의대학교 향산도서관

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고주파 수퍼터타입 이온소스를 이용한 비질량분리형이온빔증착법에 관한 특성연구: / 임재원 Isshiki Minoru / 한국진공학회 / 韓國眞空學會誌 / 2003 /