대구한의대학교 향산도서관

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반응성 스퍼터링으로 성장된 결정성 질화탄소막의 기계적 특성 / 이성필 강종봉 / 한국전기전자재료학회 / 전기 전자 재료 학회 논문지 / 2002 /