대구한의대학교 향산도서관

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실리콘 웨이퍼위에 증착된 실리케이트 산화막의 CMP슬러리 오염 특성 / 김상용 서용진 이우선 / 한국전기전자재료학회 / 전기 전자 재료 학회 논문지 / 2000 /