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나노패터닝을 위한 고에너지 전자빔 리소그래피 시뮬레이터 개발 및 검증 (507): / 김진광 김학 한창호 전국진 / 대한전자공학회 / 종합학술대회논문집(대한전자공학회) / 2004 /