대구한의대학교 향산도서관

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STI-CMP용 세리아 슬러리 공급시스템에서 거대입자와 필터 크기가 Light point defects 에 미치는 영향: / 이명윤 Katoh.Takeo 강현구 박진형 박재근 백운규 / 한국반도체및디스플레이장비학회 / 반도체 및 디스플레이장비 학회지 / 2005 /