대구한의대학교 향산도서관

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텅스텐 실리사이드 산화시 발생하는 이상산화 현상 억제에 미치는 이온 주입 효과: / 이재갑 노재성 이정용 / 한국진공학회 / 韓國眞空學會誌 / 1994 /