대구한의대학교 향산도서관

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이온화 N₂ 가스 입사를 이용한 SiNx 나노구조 내부의 Si 나노결정 형성: / 정민철 박용주 신현준 변준석 윤재진 박용섭 / 한국진공학회 / 韓國眞空學會誌 / 2007 /