대구한의대학교 향산도서관

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수직형 Feed-through 갖는 RF-MEMS 소자의 웨이퍼 레벨 패키징: / 박윤권 이덕중 박흥우 / 한국전기전자재료학회 / 전기 전자 재료 학회 논문지 / 2002 /