대구한의대학교 향산도서관

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새로운 TiSi2 형성방법과 STI를 이용한 초박막 게이트 산화막의 특성 개선 연구 / 엄금용 오환술 / 대한전자공학회 / 종합학술대회논문집(대한전자공학회) / 2000 /