대구한의대학교 향산도서관

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Resist 표명 거칠기 예측을 위한 전자빔 리소그라피 시뮬레이션에 관한 연구 / 김학 한창호 이기용 / 대한전자공학회 / 종합학술대회논문집(대한전자공학회) / 2002 /