대구한의대학교 향산도서관

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Cl₂가스분위기에서 Ar 이온빔을 이용한 Si₁-χGeχ 박막의 식각특성연구 / 윤창주 유홍우 한윤봉 / 한국물리학회 / 응용 물리 / 1997 /