대구한의대학교 향산도서관

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NH3/SiH4 비의 변화에 따른 비정질 실리콘 질화막의 제조 및 특성 / 박욱동 김기완 / 경북대학교 공과대학 전자기술연구소 / 전자기술 연구지(경북대) / 1993 /