대구한의대학교 향산도서관

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RF 스퍼터링으로 Si 기판위에 제작된 ZnO 박막에서 ZnO 버퍼층의 가스분위기 영향: / 박태은 조형균 공보현 홍순구 / 한국전기전자재료학회 / 전기 전자 재료 학회 논문지 / 2005 /