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고온 전자빔 증착에 의한 Ethylene Terephthalate상의 SiOx 박막의 특성 평가: / 한진우 김영환 김종환 서대식 문대규 / 한국전기전자재료학회 / 전기 전자 재료 학회 논문지 / 2006 /